許多工業製程中都需要使用比飲用水更高純度的用水，甚至半導體製程、醫藥品製程更需要使用大量超純水，且隨著製程精密度與安全度要求之提高，更要求更高品質的純水。就純水水質而言，各種製程所需的純度與所要求的水質項目也不完全相同，其中，經常使用之水處理技術單元包括前處理(如混凝、浮除)、離子交換、逆滲透、電透析離子交換、脫氣、超過濾、UV 殺菌及UV 臭氧氧化等技術，各種技術單元之組合，對於水質控制與管理之特性將有所不同

RO 膜

RO 膜的脫鹽率可高達99%以上，對於TOC、微粒子的去除率也高，在連續運轉下可得到良好又穩定的水質。但如遇鹽類濃度高的原水，處理水可能無法達到要求水質，在中性的pH 之下，氟酸根、碳酸根等弱酸離子的去除率很低，仍需再以非再生型離子交換設備處理

離子交換系統

離子交換系統是通過陰、陽離子交換樹脂對水中的各種陰、陽離子進行置換，陰、陽離子交換樹脂按不同比例進行搭配可組成離子交換陽床系統，離子交換陰床系統及離子交換混床（複床）系統，而混床（複床）系統又通常是用在反滲透處理。被廣泛應用在電子、電力純水，化工，電鍍純水，鍋爐補給水及醫藥用純水等工業純水中

採用離子交換方法，可以把水中呈離子態的陽、陰離子去除，以氯化鈉(NaCl)代表水中無機鹽類，水質除鹽的基本反應可以用下列方程式表達：

1.	陽離子交換樹脂：R-H+Na+→ R-Na++H+
2.	陰離子交換樹脂：R-OH+Cl- → R-Cl+OH- 陽、陰離子交換樹脂總的反應式即可寫成： RH+ROH+NaCl——R-Na++RCl-+H2O 水中的NaCl已分別被樹脂上的H+和OH-所取代，而反應生成物只有H2O，故達到了去除水中鹽的作用。